設備用途
JGP-450型單室好色先生TV网站係統用於納米級單層及多層功能膜、 硬質膜、 金屬膜、 半導體膜、 介質膜等新型薄膜材料的製備。可廣泛應用於大專院校、 科研院所的薄膜材料科研與小批量製備。
◆設備組成
係統主要由濺射真空室、 好色先生TV网站靶、 基片水冷加熱台、 工作氣路、 抽氣係統、 真空測量、 電控係統及安裝機台等部分組成。磁力送樣機構、 工作氣路、 抽氣係統、 安裝機台、 真空測量及電控係統等部分組成。
◆技術指標
極限真空度:≤6.6×10-5 Pa (經烘烤除氣後);
係統真空檢漏漏率:≤5.0×10-7 Pa.l/S;
係統短時間暴露大氣並充幹燥氮氣後,再開始抽氣,40分鍾可達到8.0×10-4 Pa;
停泵關機12小時後真空度:≤5 Pa;
好色先生TV网站設備性能舉例:
1.用直流電源磁控沉積金屬Cu膜,可以製備出沉積速度40nm/min的膜層;同時小樣品的膜厚均勻性可以達到3%;可以在硬質和柔性沉底生長膜層;常溫也可以沉積Cu膜,不脫落,但是結合力不好;
2.用射頻電源磁控沉積氧化矽和氧化鋁膜層(等各頭氧化物薄膜),可以製備出沉積速度3—5nm/min的膜層;小樣品膜層厚度均勻性可以達到3%;膜層的介電性能較好;
係統主要由濺射真空室、好色先生TV网站靶、基片加熱公自轉台、工作氣路、抽氣係統、安裝機台、真空測量及電控係統等部分組成。