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    離子束濺射係統是一種新型的真空電鍍係統

    2020-07-21 16:27:06

    真空鍍膜是一種由物理方法產生薄膜材料的技術,它是將在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表麵上。這項技術先是應用於生產光學鏡片,如航海望遠鏡鏡片等。之後延伸到其他功能薄膜,唱片鍍鋁、裝飾鍍膜和材料表麵改性等。如手表外殼鍍仿金色,機械刀具鍍膜,改變加工紅硬性。目前真空鍍膜的形式大致可以分為蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。

    其中通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表麵,稱為蒸發鍍膜。這是應用一開始的鍍膜技術,也是現代常用鍍膜技術之一;而濺射鍍膜是指用高能粒子轟擊固體表麵時能使固體表麵的粒子獲得能量並逸出表麵,沉積在基片上;而新型的鍍膜技術-離子鍍是指蒸發物質的分子被電子碰撞電離後以離子沉積在固體表麵。離子鍍技術指真空蒸發於陰極濺射技術的結合,它綜合了蒸發與濺射工藝的特點,並有很好的繞射性,可為形狀複雜的工件鍍膜,但是離子束濺射係統價格相比於傳統的真空鍍膜係統要更加昂貴。

    離子束濺射係統


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