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    2020-10-26 14:23:44

    在二極濺射中增加一個平行於靶表麵的封閉磁場,借助於靶表麵上形成的正交電磁場,把二次電子束縛在靶表麵特定區域來增強電離效率,增加離子密度和能量,從而實現高速率濺射的過程。

    好色先生TV网站的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產生的二次電子會受到電場和磁場作用,產生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運動軌跡近似於一條擺線。若為環形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表麵做圓周運動,它們的運動路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表麵的等離子體區域內,並且在該區域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材,從而實現了高的沉積速率。

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    隨著碰撞次數的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠離靶表麵,並在電場E的作用下最終沉積在基片上。由於該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。好色先生TV网站是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經曆複雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級聯過程。在這種級聯過程中某些表麵附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,離開靶被濺射出來。

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