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    介紹好色先生TV网站鍍膜係統靶材的主要方法

    2020-07-21 17:20:22
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    由於好色先生TV网站鍍膜係統的難點是靶材表麵的磁場達不到正常好色先生TV网站時要求的磁場強度，因此解決的思路是增加鐵磁性靶材表麵剩磁的強度，以達到正常濺射工作對靶材表麵磁場大小的要求。實現的途徑主要有以下幾種：

    a、靶材設計與改進

    b、增強好色先生TV网站陰極的磁場

    c、降低靶材的導磁率

    d、設計新的好色先生TV网站係統

    e、設計新的濺射陰極裝置

    f、靶材與濺射陰極裝置的綜合設計

    靶材的設計改進

    將鐵磁性靶材的厚度減薄是解決好色先生TV网站鐵磁材料靶材的常見方法。如果鐵磁性靶材足夠薄，則其不能完全屏蔽磁場，一部分磁通將靶材飽和，其餘的磁通將從靶材表麵通過，達到好色先生TV网站的要求。這種方法的缺點是靶材的使用壽命過短，同時靶材的利用率很低。而且薄片靶材的另一個缺點是濺射工作時，靶材的熱變形嚴重，往往造成濺射很不均勻。

    一種對鐵磁性靶材進行的改進設計是在靶材表麵刻槽，槽的位置在濺射環兩側。這種設計的靶材適用於具有一般導磁率的鐵磁性靶材，例如鎳。但對具有高導磁率的靶材料效果較差。雖然靶材的這種改進增加了靶材的成本，但這種措施無需對濺射陰極進行改動，能在一定程度上滿足濺射鐵磁性材料的需求。

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